ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ ምንድነው?

ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዘመናዊ ቴክኖሎጂን ያጎናጽፋል፣ እንደ ማሳከክ፣ ማስቀመጥ እና ፎቶሊቶግራፊ ባሉ ትክክለኛ ሂደቶች ላይ በመመስረት።

እነዚህ ሂደቶች የምርቱን ጥራት ለማረጋገጥ ከብክለት የፀዱ እንደ ናይትሮጅን እና ሃይድሮጂን ያሉ እጅግ በጣም ንጹህ ጋዞችን ይፈልጋሉ።

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎችእንደ እርጥበት ፣ ሃይድሮካርቦኖች እና ቅንጣቶች ያሉ ቆሻሻዎችን በማስወገድ ንፅህናን በማረጋገጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ

ውጤታማ እና አስተማማኝ ምርት ለማግኘት ያስፈልጋል.

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ ምንድነው?

A ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያእንደ ቅንጣቶች፣ እርጥበት እና ሃይድሮካርቦኖች ያሉ ብክለትን ለማስወገድ የተነደፈ ልዩ የማጣሪያ መሳሪያ ነው።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ጋዞች. እነዚህ ማጣሪያዎች እንደ ማሳከክ፣ ማስቀመጥ እና ሊቶግራፊ ላሉ ሂደቶች የሚያስፈልጉትን እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህናን ያረጋግጣሉ፣

ጥቃቅን ቆሻሻዎች እንኳን የምርት ጥራትን ሊጎዱ የሚችሉበት.

እነዚህ ማጣሪያዎች በተለምዶ እንደ ከላቁ ቁሶች የተሠሩ ናቸው።የተጣራ አይዝጌ ብረት, ፒቲኤፍኢ (polytetrafluoroethylene), እናሴራሚክስ፣ የትኛው

እጅግ በጣም ጥሩ ኬሚካላዊ የመቋቋም ፣ ረጅም ጊዜ እና ከከፍተኛ ንፁህ የጋዝ ስርዓቶች ጋር ተኳሃኝነትን ያቅርቡ። ከብክለት ነፃ የሆኑ የጋዝ ጅረቶችን በመጠበቅ ፣

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ለዘመናዊ ማይክሮ ቺፕ ምርት አስፈላጊ የሆነውን ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ለማሳካት ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ።

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ለምን አስፈላጊ ናቸው?

ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደቶች በሚያስደንቅ ሁኔታ ለብክለት ተጋላጭ ናቸው።

በአጉሊ መነጽር ብቻ የሚታዩ ቆሻሻዎች እንኳን በቫፈር ውስጥ ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ, ይህም ወደዚህ ይመራሉየምርት መቀነስ ፣

የተበላሸ የመሣሪያ አፈፃፀም እና የምርት ወጪዎችን ጨምሯል።

የተለመዱ ብከላዎችያካትቱ፡

* ቅንጣቶች:

አቧራ፣ የብረት መላጨት ወይም ሌላ ጠንካራ ፍርስራሾች።

* እርጥበት:

ዋፈርን የሚያበላሹ ኬሚካላዊ ግብረመልሶችን ሊያስከትል ይችላል።

* ሃይድሮካርቦኖች:

ያልተፈለጉ ቅሪቶችን ማስተዋወቅ ወይም በኬሚካላዊ ሂደቶች ውስጥ ጣልቃ መግባት.

እንደ ማሳከክ ወይም ማስቀመጥ ባሉ ወሳኝ ሂደቶች ውስጥ ያሉ ንጹሕ ያልሆኑ ጋዞች ያልተስተካከሉ ንብርብሮችን ፣ የተሳሳቱ ወረዳዎችን ሊያስከትሉ ይችላሉ።

እና ውድቅ ቺፕስ.

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች

የጋዝ ንፅህናን ለማረጋገጥ ፣ የዋፈርን ጥራት ለመጠበቅ እና የምርት መስመሮችን ውጤታማነት ለመጠበቅ አስፈላጊ ናቸው ።

የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ ዓይነቶች

1. የንጥል ማጣሪያዎች

* እንደ አቧራ እና ፍርስራሾች ያሉ ጠንካራ ቅንጣቶችን ከጋዝ ጅረቶች ለማስወገድ የተነደፈ።

* የጋዝ ፍሰትን ሳይገድብ ብክለትን ለመያዝ እጅግ በጣም ጥሩ የሆኑ ቀዳዳዎችን (ለምሳሌ ንዑስ-ማይክሮን) ያሳዩ።

*በተለምዶ ከማይዝግ ብረት የተሰራ ለጥንካሬ እና ለኬሚካላዊ መከላከያ።

2. ሞለኪውላዊ ብክለት ማጣሪያዎች

*እንደ እርጥበት እና ሃይድሮካርቦኖች ያሉ በሞለኪውላዊ ደረጃ ያሉ ቆሻሻዎችን ለማስወገድ በልዩ ምህንድስና የተሰራ።

* ብዙ ጊዜ እንደ ፒቲኤፍኢ ወይም ገቢር ካርቦን ያሉ የላቁ ቁሶችን በኬሚካል ወይም በአካል ብክለትን ለማጥመድ ይጠቀሙ።

* ለእርጥበት ወይም ለኦርጋኒክ ቅሪቶች ተጋላጭ በሆኑ ሂደቶች ውስጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንጽሕናን ለመጠበቅ በጣም አስፈላጊ።

3. የተጣመሩ ማጣሪያዎች

* ሁለቱንም ቅንጣቶች እና ሞለኪውላዊ ብክለትን በአንድ ጊዜ ለመቋቋም ባለብዙ-ንብርብር ማጣሪያን ያቅርቡ።

*የተለያዩ የቆሻሻ መገለጫዎች ላሉት የጋዝ ጅረቶች ተስማሚ።

* ለ ቅንጣት ማጣሪያ እና ኬሚካላዊ ማስታዎቂያዎች ያሉ ቴክኖሎጂዎችን ያጣምሩ

ለሞለኪውላዊ ብክለት መወገድ.

የማጣሪያ ንድፎችን እና ቴክኖሎጂዎችን ማወዳደር

*የተጣራ ብረት ማጣሪያዎች:

በከፍተኛ ግፊት ስርዓቶች ውስጥ ለቅንጣትን ለማስወገድ ዘላቂ እና ውጤታማ።

* Membrane-based ማጣሪያዎች:

በጣም ጥሩ ሞለኪውላዊ ማጣሪያ ያቅርቡ ነገር ግን ዝቅተኛ ግፊቶች ሊፈልጉ ይችላሉ.

* ድብልቅ ማጣሪያዎች:

በጥቃቅን ዲዛይኖች ውስጥ አጠቃላይ ማጣሪያን ለማጣር የሳይንቲድ እና ​​የሜምፕል ቴክኖሎጂዎችን ያጣምሩ።

የማጣሪያው ምርጫ የሚወሰነው በተለየ ጋዝ, የአሠራር ሁኔታዎች እና የብክለት አደጋዎች ላይ ነው

ሴሚኮንዳክተር ሂደት.

የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ዋና ዋና ባህሪያት

1. የማጣሪያ ቅልጥፍና

*ትንንሽ ጥቃቅን ቅንጣቶችን እና ሞለኪውላዊ ብክለትን እንኳን ለማስወገድ ለንዑስ ማይክሮን ደረጃ ማጣሪያ የተነደፈ።

* ለስሜታዊ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ወሳኝ የሆኑ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ጋዞችን ያረጋግጣል።

2. ከፍተኛ የሙቀት እና የኬሚካል መቋቋም

* ከፍተኛ ሙቀትን ለመቋቋም እንደ ሲንተሪድ አይዝጌ ብረት እና PTFE ካሉ ቁሳቁሶች የተገነባ

እና የሚበላሹ ጋዞች.

* ምላሽ ሰጪ ወይም ከፍተኛ ሙቀት ላላቸው አካባቢዎች ለተለያዩ መተግበሪያዎች ተስማሚ።

3. ዘላቂነት እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት

* ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ እንዲውል በትንሹ መበላሸት ፣ የመተካት እና የመቀነስ ድግግሞሽን በመቀነስ የተሰራ።

*ቁሳቁሶች መበላሸት እና መሰባበርን ይቃወማሉ፣ ረዘም ላለ ጊዜ አፈጻጸምን ይጠብቃሉ።

4. ከ Ultra-High Purity Gas Systems ጋር ተኳሃኝነት

* ብክለትን ሳያስተዋውቅ በከፍተኛ ንፅህና ቧንቧዎች ውስጥ ያለችግር ለመዋሃድ የተነደፈ።

* በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ወጥነት ያለው አፈጻጸምን በማረጋገጥ የኢንዱስትሪ መስፈርቶችን ለንፅህና ማሟላት።

እነዚህ ባህሪያት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎችን ውጤታማነት፣ አስተማማኝነት እና ለማረጋገጥ አስፈላጊ ያደርጉታል።

የላቀ የምርት አካባቢዎች ውስጥ ጥራት.

የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች አፕሊኬሽኖች

1. ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች

* ማሳከክ:

ማጣሪያዎች በቫፈር ላይ የተቀረጹ ንድፎችን ጉድለቶች ለመከላከል እጅግ በጣም ንጹህ ጋዞችን ያረጋግጣሉ.

* ማስቀመጫ:

በኬሚካል እና በአካላዊ ውስጥ አንድ አይነት ቀጭን ፊልሞችን ለመፍጠር ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ጋዞች ያስፈልጋሉ

የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (CVD እና PVD) ሂደቶች.

* ሊቶግራፊ:

የጋዝ ማጣሪያዎች ቆሻሻዎችን በማስወገድ የፎቶሊቶግራፊያዊ ሂደቶችን ትክክለኛነት ይጠብቃሉ

ጣልቃ ሊገባ ይችላልበብርሃን መጋለጥ ወይም በኬሚካላዊ ምላሾች.

2. ማጣሪያ የሚያስፈልጋቸው ጋዞች

ናይትሮጅን (N₂):

ለማጽዳት እና እንደ ማጓጓዣ ጋዝ ጥቅም ላይ ይውላል, ብክለትን ለማስወገድ ፍጹም ንጽሕናን ይፈልጋል.

አርጎን (አር):

ቆሻሻዎች መረጋጋትን ሊያበላሹ በሚችሉበት ለፕላዝማ ሂደቶች እና አቀማመጥ አስፈላጊ ነው።

* ኦክስጅን (O₂):

በኦክሳይድ እና በንጽህና ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል, ከብክለት ነጻ የሆነ አቅርቦት ያስፈልገዋል.

ሃይድሮጂን (ኤች.አይ.):

ዝቅተኛ ንፅህና ካለው ፣ በተቀማጭ እና በማሳከክ ላይ ያሉ አካባቢዎችን ለመቀነስ ወሳኝራሽን

3. ከሴሚኮንዳክተሮች በላይ የሆኑ ኢንዱስትሪዎች

* ፋርማሲዩቲካልስ:

ሚስጥራዊነት ያላቸውን ምርቶች ለማምረት እና ለማሸግ እጅግ በጣም ንጹህ ጋዞች።

* ኤሮስፔስ:

ትክክለኛ የማምረት ሂደቶች በንጹህ ጋዝ አከባቢዎች ላይ ይመረኮዛሉ.

* ምግብ እና መጠጥ:

ማጣሪያዎች ለማሸግ እና ለማቀነባበር ከብክለት ነጻ የሆኑ ጋዞችን ያረጋግጣሉ.

የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ትክክለኛነትን፣ ቅልጥፍናን እና ጥራትን በሁለቱም ውስጥ ለማንቃት አስፈላጊ ናቸው።

ሴሚኮንዳክተር ማምረትእና ሌሎች ከፍተኛ-ንፅህና መተግበሪያዎች.

ትክክለኛውን ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ እንዴት እንደሚመረጥ

1. ሊታሰብባቸው የሚገቡ ምክንያቶች

* የጋዝ ዓይነትየተለያዩ ጋዞች የተለያዩ የብክለት አደጋዎች አሏቸው (ለምሳሌ እርጥበት ለናይትሮጅን፣ ሃይድሮካርቦን ለሃይድሮጂን)። ለተወሰነ ጋዝ የተበጀ ማጣሪያ ይምረጡ።

* የፍሰት መጠን: ማጣሪያው ቅልጥፍናን ሳይጎዳ ወይም የግፊት ጠብታዎችን ሳያስተዋውቅ አስፈላጊውን የጋዝ ፍሰት ማስተናገድ መቻሉን ያረጋግጡ።

* የአሠራር ግፊትለስርዓትዎ የግፊት ክልል በተለይም ከፍተኛ ግፊት ባለባቸው አካባቢዎች የተነደፈ ማጣሪያ ይምረጡ።

* ተኳኋኝነትየማጣሪያ ቁሳቁሶች ከጋዝ እና ከሌሎች የስርዓት ክፍሎች ጋር በኬሚካላዊ ሁኔታ የሚጣጣሙ መሆናቸውን ያረጋግጡ.

2. የጉድጓድ መጠን እና የቁሳቁስ ምርጫ አስፈላጊነት

* የጉድጓድ መጠንበሚፈለገው ቅልጥፍና (ለምሳሌ፡ ለወሳኝ አፕሊኬሽኖች ንዑስ-ማይክሮን ደረጃዎች) ብክለትን ለማስወገድ ተስማሚ የሆነ የቀዳዳ መጠን ያለው ማጣሪያ ይምረጡ።

* ቁሳቁስእንደ ዘላቂ ቁሳቁሶች ይምረጡየተጣራ አይዝጌ ብረትለቅጣቶች ወይም PTFE ለሞለኪውላዊ ብክለት, ለዝገት, ለሙቀት እና ለግፊት መቋቋምን ማረጋገጥ.

3. ለጥገና እና ለመተካት ጠቃሚ ምክሮች

* ለመዝጋት፣ ለመልበስ ወይም ለተቀነሰ አፈጻጸም ማጣሪያዎችን በመደበኛነት ይመርምሩ።

* የብክለት መጨመርን ለመከላከል ማጣሪያዎችን ለማጽዳት ወይም ለመተካት የአምራች መመሪያዎችን ይከተሉ።

*የማጣሪያ ቅልጥፍናን ለመከታተል እና መቼ መተካት እንደሚያስፈልግ ለመለየት የክትትል መሳሪያዎችን ይጠቀሙ።

እነዚህን ነገሮች በጥንቃቄ በመገምገም እና ማጣሪያዎቹን በትክክል በመጠበቅ በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥሩ የጋዝ ንፅህናን እና የስርዓት አፈፃፀምን ማረጋገጥ ይችላሉ።

የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ ቴክኖሎጂ እድገቶች

1. በቁሳዊ ሳይንስ ውስጥ ፈጠራዎች

* ናኖ - ቅንጣቢ ማጣሪያበሞለኪዩል ወይም በአቶሚክ ደረጃ ብክለትን ለመያዝ የሚችሉ የላቀ ቁሶችን ማልማት.

ይህ ለከፍተኛ-ስሜታዊ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ከፍተኛ የጋዝ ንፅህናን ያረጋግጣል።

* ድብልቅ ቁሳቁሶችሁለቱም ዘላቂ እና ዘላቂ የሆኑ ማጣሪያዎችን ለመፍጠር የተጣጣሙ ብረቶች ከላቁ ፖሊመሮች ጋር በማጣመር

የተለያዩ ብከላዎችን ለማስወገድ በጣም ውጤታማ።

2. ስማርት የማጣሪያ ስርዓቶች

* አብሮገነብ የመከታተያ ችሎታዎች:

የማጣሪያ አፈጻጸምን፣ የግፊት ጠብታዎችን እና የብክለት ደረጃዎችን በቅጽበት የሚከታተሉ ዳሳሾች ውህደት።

* ግምታዊ ጥገና:

ስማርት ሲስተሞች ማጣሪያ ማፅዳት ወይም መተካት ሲፈልግ ኦፕሬተሮችን ያሳውቃሉ፣ የስራ ጊዜን ይቀንሳል እና የጥገና መርሃ ግብሮችን ያመቻቻሉ።

3. ዘላቂ እና ኃይል ቆጣቢ ንድፎች

* ኢኮ ተስማሚ ቁሶች:

ቆሻሻን ለመቀነስ እንደገና ጥቅም ላይ ሊውሉ በሚችሉ ወይም ለአካባቢ ተስማሚ አካላት የተሰሩ ማጣሪያዎች።

* የኢነርጂ ውጤታማነት:

የግፊት ጠብታዎችን እና የኃይል ፍጆታን የሚቀንሱ ዲዛይኖች ፣ የማጣሪያ ጥራትን ሳይጎዱ የስርዓት ቅልጥፍናን ያሻሽላሉ።

እነዚህ እድገቶች የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች አፈፃፀምን ብቻ ሳይሆን ለዋጋ ቆጣቢነት አስተዋፅኦ ያደርጋሉ

የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እያደገ የሚሄደውን ፍላጎቶች በመፍታት የአካባቢ ዘላቂነት.

መደምደሚያ

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች እጅግ በጣም ንፁህ ጋዞችን ለማረጋገጥ፣ የዋፈርን ጥራት ለመጠበቅ እና የማምረት ቅልጥፍናን ለማሻሻል ወሳኝ ናቸው።

ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂን በማሳደግ እና ጥብቅ የኢንዱስትሪ ደረጃዎችን በማሟላት የእነርሱ ሚና ወሳኝ ነው።

ለተበጁ መፍትሄዎች፣ ለፍላጎቶችዎ ምርጥ ማጣሪያዎችን ለመምረጥ እና በእንቅስቃሴዎ ውስጥ ከፍተኛውን አፈጻጸም ለማረጋገጥ ባለሙያዎችን ያማክሩ።