ሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች;

በቺፕሜኪንግ ውስጥ እንከን የለሽ የጋዝ ንፅህናን ማረጋገጥ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስብስብ ዓለም ውስጥ ትክክለኛነት እና ንፅህና በጣም አስፈላጊ በሆነበት የጥራት ደረጃ

ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዞች የሂደቱን ስኬት ለመወሰን ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ. ንጽህናዎች፣በማይወሰን ደረጃም ቢሆን፣

በማይክሮ ቺፕስ ዑደቶች ላይ ጉዳት ሊያደርስ ይችላል፣ ይህም ጉድለት ያለባቸው እና ጥቅም ላይ የማይውሉ ያደርጋቸዋል። ለመጠበቅ

ይህ ወሳኝ ሂደት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች የማይነቃነቁ ጠባቂዎች ሆነው ይቆማሉ, በጥንቃቄ ብክለትን ያስወግዳሉ.

እና በማምረቻ መስመሮች ውስጥ የሚፈሱ ጋዞች ጥራት ያለው ጥራት ማረጋገጥ.

ከብረት የተሠሩ የብረት ማጣሪያዎች በጣም ጥሩ ባህሪያት እና ጥቅሞች አሉት

1. በዘመናዊ የጽዳት ክፍል ውስጥ የተሰራ

እነዚህ ማጣሪያዎች የተወለዱት በዘመናዊ የንፅህና ክፍል ውስጥ ነው፣ ይህም ምንም አይነት ብክለትን ለመቀነስ ንፁህ ያልሆኑ ሁኔታዎች በጥንቃቄ የሚጠበቁበት አካባቢ ነው። በተጣራ አየር በከባቢ አየር ውስጥ ከትክክለኛ ብየዳ ጀምሮ ጥብቅ የማምረት ሂደት ያካሂዳሉ። በቀጣይ የዲዮኒዝድ ውሃ ማፍሰሻ፣ ከፍተኛ-ግፊት፣ የተጣራ ናይትሮጅን ማጽጃ ተከትሎ፣ ማንኛውንም የቆዩ ቅንጣቶችን ያስወግዳል እና ቅንጣትን የመፍሰስ አደጋን ይቀንሳል።

2. ልዩ ቅንጣት የማስወገድ ብቃት

9 LRV ለ 0.003μm ቅንጣቶች በሚያስደንቅ የማጣራት ቅልጥፍና በሴሚ ኤፍ 38 እና ISO 12500 የሙከራ ዘዴዎች የተቀመጡትን ጥብቅ መመዘኛዎች በማክበር እነዚህ ማጣሪያዎች ከሚንቀሳቀሱ ክፍሎች የሚፈጠሩትን ማንኛውንም ዝገት-የተፈጠሩ ቅንጣቶችን እና ቅንጣቶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያስወግዳሉ። ጋዞች.

3. የላቀ የሜካኒካል ጥንካሬ

ከፍተኛ የጋዝ ግፊቶችን በሚፈልጉ የአምራች ሂደቶች እና አካባቢዎች ላይ ልዩ የመቋቋም አቅምን ለማረጋገጥ በብርቱ የተፈተነ፣ እነዚህ ማጣሪያዎች በህይወት ዘመናቸው ሁሉ የማይናወጥ አፈፃፀምን ይሰጣሉ።

4. ከፍተኛ የኢንዱስትሪ ደረጃዎችን ማለፍ

ለሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ጥብቅ የጋዝ አያያዝ ማጣሪያ መስፈርቶችን በማለፍ እነዚህ ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጋዝ ማቅረቢያ ስርዓቶች የሚፈለጉትን ወሳኝ የማጣሪያ ቅልጥፍና ፣ ትክክለኛ የፍሰት ቁጥጥር እና የደህንነት መስፈርቶችን እንደሚያሟሉ ለማረጋገጥ ጥብቅ ሙከራዎችን ያደርጋሉ።

5. ለደህንነት የማይናወጥ ቁርጠኝነት

ተቀጣጣይ፣ ብስባሽ፣ መርዛማ እና ፒሮፎሪክ ሂደት ጋዞችን ከመጋለጥ ለመጠበቅ የማጣሪያው ቤቶች ከ1x10-9 ኤቲኤም ኤስሲ/ሰከንድ በታች የሆነ አስደናቂ የመፍሰሻ መጠን ማግኘታቸውን በማረጋገጥ ከፍተኛ የሆነ የፍሳሽ ሙከራ ይደረግባቸዋል። ይህ ለደህንነት የማይናወጥ ቁርጠኝነት አደገኛ ጋዞች መያዛቸውን እና ጉዳት ከማድረስ መከልከላቸውን ያረጋግጣል።

6. ያልተመጣጠነ ንፅህና ለ Chipmaking ልቀት

ልዩ በሆነ የማጣራት አቅማቸው፣ ለደህንነት የማይናወጥ ቁርጠኝነት እና ከፍተኛውን የኢንዱስትሪ ደረጃዎችን በማክበር እነዚህ የጋዝ ማጣሪያዎች ውስብስብ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደትን በመጠበቅ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። የንጽህና ጠባቂዎች ሆነው ይቆማሉ, በማምረቻ መስመሮች ውስጥ በጣም ንጹህ ጋዞች ብቻ እንዲፈስሱ በማድረግ, ዘመናዊውን ዓለም የሚያግዙ ከፍተኛ አፈፃፀም ያላቸው ማይክሮ ቺፖችን ለመፍጠር መንገድ ይከፍታሉ.

የሴሚኮንዳክተር ማጣሪያ ዓይነቶች

ሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች የሚከተሉትን ጨምሮ በተለያዩ መተግበሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ:

* የኤሌክትሮኒክስ ምርት;

ሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች ሴሚኮንዳክተሮችን ለማምረት ጥቅም ላይ ከሚውሉት ultrapure ውሃ, ጋዞች እና ኬሚካሎች ውስጥ ቅንጣቶችን ለማስወገድ ያገለግላሉ.

* የኬሚካል ሜካኒካል እቅድ ማውጣት (ሲኤምፒ)

ሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች ሴሚኮንዳክተር ዌፈርዎችን ለማጣራት የሚያገለግሉትን ከሲኤምፒ ጨረሮች ለማስወገድ ያገለግላሉ።

* ባዮሜዲካል:

ሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች በሕክምና ምርመራዎች እና ሕክምናዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ከሚውሉ ፈሳሾች ውስጥ ቅንጣቶችን ለማስወገድ ያገለግላሉ።

* የአካባቢ:

ሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች ከአየር እና ከውሃ ውስጥ ቅንጣቶችን ለማስወገድ ያገለግላሉ.

አራት ዋና ዋና የሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎች አሉ-

1. የሜምብራን ማጣሪያዎች;

የሜምብራን ማጣሪያዎች ቅንጣቶችን በሚያጠምዱበት ጊዜ ፈሳሾች እንዲያልፉ የሚያስችል ቀጭን እና ባለ ቀዳዳ ፊልም የተሰሩ ናቸው።

 

ለሴሚኮንዳክተር ሜምብራን ማጣሪያዎች

 

 

2. ጥልቅ ማጣሪያዎች፡-

የጥልቀት ማጣሪያዎች በማጣሪያው ውስጥ በሚፈስሱበት ጊዜ ቅንጣቶችን ከሚይዘው ጥቅጥቅ ባለ ጠንካራ አልጋ ነው።

 

ለሴሚኮንዳክተር ጥልቅ ማጣሪያዎች

 

 

3. የማስታወቂያ ማጣሪያዎች;

የ Adsorbent ማጣሪያዎች ቅንጣቶችን በሚስብ እና በሚይዝ ቁሳቁስ የተሠሩ ናቸው።

 

 ለሴሚኮንዳክተር የ Adsorbent ማጣሪያዎች

 

 

4. የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉ የጥልቀት ማጣሪያ ዓይነቶች ናቸው። የሚሠሩት ጥሩ የብረት ዱቄትን ወደ ቀዳዳ አሠራር በመገጣጠም ነው. የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች በከፍተኛ ጥንካሬ, ከፍተኛ የማጣሪያ ቅልጥፍና እና ከፍተኛ ሙቀትን እና ግፊቶችን የመቋቋም ችሎታ ይታወቃሉ.

ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅሞች

* ከፍተኛ ጥንካሬ;

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች በጣም ዘላቂ ናቸው እና ከፍተኛ ሙቀትን, ግፊቶችን እና ጎጂ ኬሚካሎችን ጨምሮ ከባድ የአሠራር ሁኔታዎችን ይቋቋማሉ.

 

* ከፍተኛ የማጣሪያ ውጤታማነት;

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ጥቃቅን ሴሚኮንዳክተር ክፍሎችን ከብክለት ለመከላከል አስፈላጊ የሆነውን እስከ 0.01 ማይክሮን መጠን ያላቸውን ቅንጣቶች ማስወገድ ይችላሉ.

* ረጅም ዕድሜ;

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ረጅም ዕድሜ ያላቸው እና በቀላሉ ሊጸዱ እና እንደገና ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ.

* የኬሚካል ተኳኋኝነት;

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ከተለያዩ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ጋር ለመጠቀም ተስማሚ ሆነው ከተለያዩ ኬሚካሎች ጋር ይጣጣማሉ.

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የተጣሩ የብረት ማጣሪያዎች መተግበሪያዎች

* ጋዝ ማጽዳት;

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ እንደ ናይትሮጅን፣ ሃይድሮጂን እና ኦክሲጅን ያሉ ጋዞችን ለማጣራት ያገለግላሉ።

* የኬሚካል ማጣሪያ;

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እንደ አሲድ፣ ቤዝ እና መሟሟት ያሉ ኬሚካሎችን ለማጣራት የተቀናጁ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ።

* እጅግ በጣም ንጹህ የውሃ ማጣሪያ;

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለውን አልትራፕር ውሃን ለማጣራት የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ.

* የሲኤምፒ ፈሳሽ ማጣሪያ;

የሴሚኮንዳክተር ቫፈርን ለማጣራት የሚያገለግሉ የሲኤምፒ ንጣፎችን ለማጣራት የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ.

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ከፍተኛ ጥራት ያለው ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ለማምረት የሚያግዙ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት አስፈላጊ አካል ናቸው.

 

በአንድ የተወሰነ መተግበሪያ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው የሴሚኮንዳክተር ማጣሪያ አይነት የሚወሰነው በተወገዱት ቅንጣቶች መጠን, በተጣራ ፈሳሽ አይነት እና በሚፈለገው የማጣሪያ ደረጃ ላይ ነው.

የተለያዩ የሴሚኮንዳክተር ማጣሪያዎችን የሚያጠቃልል ሠንጠረዥ እነሆ፡-

የማጣሪያ ዓይነት	መግለጫ	መተግበሪያዎች	ምስል
Membrane ማጣሪያዎች	ቅንጣቶችን በሚያጠምዱበት ጊዜ ፈሳሾች እንዲያልፉ በሚያስችል ቀጭን እና ባለ ቀዳዳ ፊልም የተሰራ።	ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ, CMP, ባዮሜዲካል, የአካባቢ	ለሴሚኮንዳክተር ሜምብራን ማጣሪያዎች
ጥልቀት ማጣሪያዎች	በማጣሪያው ውስጥ በሚፈስሱበት ጊዜ ቅንጣቶችን ከሚይዘው ጥቅጥቅ ባለ፣ ማሰቃያ አልጋ የተሰራ።	CMP, ባዮሜዲካል, የአካባቢ	ለሴሚኮንዳክተር ጥልቅ ማጣሪያዎች
የ Adsorbent ማጣሪያዎች	ቅንጣቶችን በሚስብ እና በሚይዝ ቁሳቁስ የተሰራ።	ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ, CMP, ባዮሜዲካል, የአካባቢ	ለሴሚኮንዳክተር የ Adsorbent ማጣሪያዎች
የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች	ጥሩ የብረት ዱቄትን ወደ ቀዳዳው መዋቅር በማጣመር የተሰራ።	ጋዝ ማጽዳት፣ የኬሚካል ማጣሪያ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የውሃ ማጣሪያ፣ የሲኤምፒ ፍሳሽ ማጣሪያ	ይከፈታልwww.hengko.com ለሴሚኮንዳክተር የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች

መተግበሪያ

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ውስጥ የተገጣጠሙ የብረት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ. እንደ ከፍተኛ የማጣሪያ ቅልጥፍና፣ ረጅም ጊዜ የመቆየት እና ከፍተኛ ሙቀትን እና ግፊቶችን የመቋቋም ችሎታ ያሉ ልዩ ባህሪያቸው በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የጋዝ አቅርቦት ስርዓት አስፈላጊ አካል ያደርጋቸዋል።

አንዳንድ የተወሰኑ የሳይንተሪድ ብረት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች አፕሊኬሽኖች እዚህ አሉ።

1. የዋፈር ምርት;

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች እንደ ናይትሮጅን፣ ሃይድሮጂን እና ኦክሲጅን ያሉ ጋዞችን በዋፈር ምርት ውስጥ ለማጣራት ያገለግላሉ። እነዚህ ጋዞች እንደ ኤፒታክሲያል እድገት፣ ማሳከክ እና ዶፒንግ ላሉ ሂደቶች አስፈላጊ ናቸው።

2. የኬሚካል ማጣሪያ;

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እንደ አሲድ፣ ቤዝ እና መሟሟት ያሉ ኬሚካሎችን ለማጣራት የተቀናጁ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ። እነዚህ ኬሚካሎች ለተለያዩ ዓላማዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ, ማጽዳት, ማሳከክ እና ማጥራትን ጨምሮ.

3. እጅግ በጣም ንጹህ ውሃ ማጣሪያ;

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለውን አልትራፕር ውሃ (UPW) ለማጣራት የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ. UPW ንጣፎችን ለማጽዳት እና ለማጠብ, እንዲሁም ኬሚካሎችን ለማዘጋጀት አስፈላጊ ነው.

4. የሲኤምፒ ፈሳሽ ማጣሪያ;

የሴሚኮንዳክተር ቫፈርን ለማጣራት የሚያገለግሉ የሲኤምፒ ንጣፎችን ለማጣራት የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ. ሲኤምፒ ማይክሮ ቺፖችን ለመሥራት ወሳኝ ሂደት ነው.

5. የአጠቃቀም ነጥብ (POU) ማጣሪያ፡-

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች ብዙውን ጊዜ እንደ POU ማጣሪያዎች ያገለግላሉ, ይህም ከፍተኛውን የማጣራት ደረጃ ለማቅረብ በአጠቃቀም ቦታ ላይ በቀጥታ ይጫናሉ. የ POU ማጣሪያዎች በተለይም የጋዝ ንፅህና ወሳኝ ለሆኑ መተግበሪያዎች ለምሳሌ ማይክሮፕሮሰሰር እና ሌሎች ከፍተኛ አፈፃፀም ያላቸውን መሳሪያዎች ለማምረት በጣም አስፈላጊ ናቸው.

6. ከፍተኛ-ንፅህና የጋዝ አያያዝ;

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ ከሚውሉት ጋዞች ውስጥ ብክለትን ለማስወገድ የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች በከፍተኛ ንፅህና የጋዝ አያያዝ ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ። እነዚህ ብከላዎች ቅንጣቶችን, እርጥበትን እና ኦርጋኒክ ውህዶችን ሊያካትቱ ይችላሉ.

7. የማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ማምረት;

እንደ ኮምፒውተሮች፣ ታብሌቶች፣ ሞባይል ስልኮች፣ አይኦቲ ሴንሰሮች እና የመቆጣጠሪያ መሳሪያዎች ያሉ የማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻዎች የሲንተሪድ ብረት ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ።

8. ማይክሮ-ኤሌክትሮ መካኒካል ሲስተሞች (MEMS) ማጣሪያ፡-

የተጣራ የብረት ማጣሪያዎች በ MEMS ማጣሪያ ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ, ይህም ከማይክሮ-ኤሌክትሮ መካኒካል ስርዓቶች ብክለትን የማስወገድ ሂደት ነው. MEMS በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል፣ ሴንሰሮችን፣ አንቀሳቃሾችን እና ትራንስድራዎችን ጨምሮ።

9. የመረጃ ማከማቻ መሳሪያ ማጣሪያ፡-

የተቀናጁ የብረት ማጣሪያዎች በመረጃ ማከማቻ መሳሪያ ማጣሪያ ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ይህም ከመረጃ ማከማቻ መሳሪያዎች፣ እንደ ሃርድ ድራይቮች እና ድፍን ስቴት ድራይቮች ያሉ ብክለትን የማስወገድ ሂደት ነው።

ከእነዚህ ልዩ አፕሊኬሽኖች በተጨማሪ የሴሚኮንዳክተር ኢንደስትሪ ውስጥ በተለያዩ ሌሎች አፕሊኬሽኖች ውስጥ የሲንተሪድ ብረት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ። የእነሱ ተለዋዋጭነት እና አስተማማኝነት ለሴሚኮንዳክተር አምራቾች አስፈላጊ መሣሪያ ያደርጋቸዋል.

ከፍተኛ ጥራት ያለው ሲንተሪድ ብረት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎችን ይፈልጋሉ?

HENGKO በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ስርዓቶች ውስጥ ለኦሪጂናል ዕቃ አምራች መፍትሄዎች የእርስዎ አጋር ነው።

የእኛ ትክክለኛ-ምህንድስና ማጣሪያዎች በሂደቶችዎ ውስጥ አስተማማኝነት እና ቅልጥፍናን ያረጋግጣሉ ፣ ይህም በተወዳዳሪ ገበያ ውስጥ ጠርዙን ይሰጡዎታል።

ለምን የ HENGKO ማጣሪያዎችን ይምረጡ?

* የላቀ ጥራት እና ዘላቂነት
* ልዩ ፍላጎቶችዎን ለማሟላት ብጁ መፍትሄዎች
* ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የተሻሻለ አፈፃፀም

የማጣራት ተግዳሮቶች ምርትዎን እንዲከለክሉት አይፍቀዱ።

የእኛ የተሳለ ብረት ማጣሪያ እንዴት የአምራች ስርዓትዎን አብዮት እንደሚፈጥር ለማሰስ ዛሬ ያግኙን።

በ ላይ ያግኙንka@hengko.com

ከHENGKO ጋር ይተባበሩ እና በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የላቀ ደረጃን ይውሰዱ!