ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች

በሴሚኮንዳክተር ማምረት ሂደት ውስጥ የጋዝ ማጣሪያዎችን ለምን መጠቀም ያስፈልግዎታል? 

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ የጋዝ ማጣሪያዎች ለብዙ ወሳኝ ምክንያቶች አስፈላጊ ናቸው-

1. ብክለትን ማስወገድ

ሴሚኮንዳክተር ማምረት በጣም ጥቃቅን የሆኑ ብክሎች እንኳን ሳይቀር በርካታ ስሜታዊ ሂደቶችን ያካትታል።

እንደ የአቧራ ቅንጣቶች፣ እርጥበት ወይም የኬሚካል ቅሪቶች ጎጂ ውጤቶች ሊኖራቸው ይችላል። የጋዝ ማጣሪያዎች ያስወግዳሉ

ንፁህ አካባቢን በማረጋገጥ ከሂደት ጋዞች የሚመነጩ ብናኞች፣ ቆሻሻዎች እና አየር ወለድ ብክለት

እና የሴሚኮንዳክተር ዋፍሮችን ትክክለኛነት መጠበቅ.

2. እጅግ በጣም ንጹህ ደረጃዎችን መጠበቅ

ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ቆሻሻዎች ስለሚችሉ ጥቅም ላይ በሚውሉ ጋዞች ውስጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ ንፅህናን ይፈልጋል

በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ወደ ጉድለቶች ይመራሉ. የጋዝ ማጣሪያዎች እጅግ በጣም ንጹህ የሆነ የጋዝ ጥራትን ለማግኘት ይረዳሉ, ይከላከላል

መበከል እና የምርቶቹን ወጥነት እና አስተማማኝነት ማረጋገጥ.

3. የመከላከያ መሳሪያዎች

በጋዞች ውስጥ ያሉ ብክለቶች ሴሚኮንዳክተር ዋፍሮችን ሊጎዱ ብቻ ሳይሆን ስሜታቸውንም ሊጎዱ ይችላሉ

በማምረት ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ መሳሪያዎች, እንደ ኬሚካዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) ሪአክተሮች እና

ማሳከክ ስርዓቶች. የጋዝ ማጣሪያዎች እነዚህን ውድ ማሽኖች ከጉዳት ይከላከላሉ, ይህም አደጋን ይቀንሳል

የእረፍት ጊዜ እና ውድ ጥገና.

4. የምርት መጥፋትን መከላከል

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ምርት ወሳኝ ነው፣ ጉድለቶች በምርት ላይ ከፍተኛ ኪሳራ ሊያስከትሉ ይችላሉ።

አንድ ቅንጣት ወይም የኬሚካል ብክለት እንኳን የምርት ኪሳራ ሊያስከትል ይችላል, ምርታማነትን እና ትርፋማነትን ይጎዳል.

የጋዝ ማጣሪያዎች የሂደቱ ጋዞች ንጹህ መሆናቸውን ያረጋግጣሉ, ብክለትን ይቀንሳል እና የምርት ብክነትን ይቀንሳል.

5. የምርት ጥራት ማረጋገጥ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ወጥነት እና ጥራት በጣም አስፈላጊ ናቸው. የተበከሉ ጋዞች ሊፈጠሩ ይችላሉ

አለመጣጣም, ወደማይታመን ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ይመራል. የጋዝ ማጣሪያዎችን በመጠቀም, አምራቾች ይችላሉ

እያንዳንዱ ስብስብ የሚፈለጉትን ጥብቅ የጥራት ደረጃዎች እንደሚያሟላ ዋስትና ይሰጣል፣ ይህም ወደ ከፍተኛ መሳሪያ ይመራል።

አፈፃፀም እና ረጅም ጊዜ መኖር.

6. የእረፍት ጊዜን በመቀነስ ላይ

በሂደት ጋዞች ውስጥ ያሉ ብክለቶች የመሳሪያዎች ብልሽት ሊያስከትሉ ይችላሉ, ይህም ጥገና ወይም መተካት ያስፈልገዋል.

የጋዝ ማጣሪያዎችን በመጠቀም አምራቾች ያልተጠበቀ የእረፍት ጊዜን ይቀንሳሉ, የአሠራር ቅልጥፍናን ይጠብቃሉ, እና

ወሳኝ መሳሪያዎችን ህይወት ያሳድጉ.

7. የኬሚካል ተኳኋኝነት

በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ አብዛኛዎቹ ጋዞች በጣም ምላሽ ሰጪ ወይም ብስባሽ ናቸው. የጋዝ ማጣሪያዎች ናቸው

ውጤታማ ቆሻሻዎችን በማጣራት, በማረጋገጥ, እነዚህን ከባድ ኬሚካላዊ አካባቢዎችን ለመቋቋም የተነደፈ

አስተማማኝ እና ውጤታማ ሂደት.

በአጠቃላይ የጋዝ ማጣሪያዎች የሴሚኮንዳክተሩን ንፅህና, አስተማማኝነት እና ደህንነት ለመጠበቅ በጣም አስፈላጊ ናቸው

የማምረት ሂደት, ሳለ ከፍተኛ-ጥራት, ጉድለት-ነጻ ሴሚኮንዳክተር ምርቶች ለማሳካት በመርዳት

እንዲሁም ጠቃሚ መሳሪያዎችን መጠበቅ.

በሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደት ውስጥ የጋዝ ማጣሪያ ዓይነቶች

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ የተለያዩ የጋዝ ማጣሪያ ዓይነቶች የተለያዩ ችግሮችን ለመፍታት ጥቅም ላይ ይውላሉ

ከጋዝ ንፅህና እና ከመሳሪያዎች ጥበቃ ጋር የተያያዙ ደረጃዎች እና ፈተናዎች.

በብዛት ጥቅም ላይ የዋሉት የጋዝ ማጣሪያ ዓይነቶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. የተጣራ ማጣሪያዎች

* ዓላማ: ከሂደቱ ጋዞች ውስጥ ቅንጣቶችን, አቧራዎችን እና ሌሎች ጠንካራ ብክለትን ለማስወገድ.

* አጠቃቀም: ብዙ ጊዜ በተለያዩ ደረጃዎች ተጭኗል ቫፈርስ ፣ የሂደት ክፍሎችን እና መሳሪያዎችን ከቅንጣት ብክለት ለመጠበቅ።

* ቁሶች: በተለምዶ ከማይዝግ ብረት የተሰራ ፣ PTFE ፣ ወይም ዘላቂነት እና የኬሚካል ተኳሃኝነትን የሚያረጋግጡ ሌሎች ቁሳቁሶች።

2. ሞለኪውላዊ ወይም ኬሚካላዊ ማጣሪያዎች (Getter Filters)

* ዓላማበሂደት ጋዞች ውስጥ ሊገኙ የሚችሉ እንደ እርጥበት፣ ኦክሲጅን ወይም ኦርጋኒክ ውህዶች ያሉ የተወሰኑ ሞለኪውላዊ ብክለትን ለማስወገድ።

* አጠቃቀም: ከፍተኛ ንፅህና ያለው ጋዝ በሚያስፈልግበት ጊዜ ጥቅም ላይ ይውላል, ለምሳሌ በሚጥሉበት ጊዜ ወይም በማፍሰስ ሂደቶች.

* ቁሶችብዙውን ጊዜ የሚሠራው የነቃ ከሰል፣ ዜኦላይት ወይም ሌሎች ሞለኪውላዊ ቆሻሻዎችን ለማጥመድ የተነደፉ ተጨማሪ ንጥረ ነገሮችን በመጠቀም ነው።

3. ከፍተኛ-ንፅህና የጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማትንሽ ርኩሰት በምርቱ ጥራት ላይ ተጽዕኖ በሚያሳድርበት ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች በጣም አስፈላጊ የሆነውን እጅግ በጣም ከፍተኛ የንጽህና (UHP) የጋዝ ደረጃዎችን ለማግኘት።

* አጠቃቀምእነዚህ ማጣሪያዎች እንደ ኬሚካላዊ ትነት ማጠራቀሚያ (CVD) እና ፕላዝማ ኢቲንግ ባሉ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ቆሻሻዎች ከባድ ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ።

* ቁሶችበከፍተኛ ግፊት እና በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ ታማኝነትን ለመጠበቅ ልዩ ሽፋን ካለው ከማይዝግ ብረት የተሰራ።

4. የጅምላ ጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማ: በመግቢያው ቦታ ላይ ወይም ወደ ማምረቻ መስመሮች ከመሰራጨቱ በፊት ጋዞችን ለማጣራት.

* አጠቃቀምለግለሰብ መሳሪያዎች ወይም ሬአክተሮች ከመቅረቡ በፊት ጋዞችን በጅምላ ለማጣራት በጋዝ አቅርቦት ስርዓት ላይ ወደላይ የተቀመጠ።

* ቁሶችእነዚህ ማጣሪያዎች ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ መጠን ያላቸውን ጋዞች ለመያዝ ከፍተኛ አቅም አላቸው.

5. የአጠቃቀም ነጥብ (POU) ጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማ: ለእያንዳንዱ ልዩ የማቀነባበሪያ መሳሪያዎች የሚቀርቡት ጋዞች ከማንኛውም ብክለት ነፃ መሆናቸውን ለማረጋገጥ.

* አጠቃቀምጋዞቹ ከሂደቱ መሳሪያዎች ጋር ከመተዋወቅዎ በፊት ተጭነዋል, ለምሳሌ እንደ ኢኬቲንግ ወይም ማስቀመጫ ክፍሎች.

* ቁሶችበሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ከሚውሉት ምላሽ ሰጪ ጋዞች ጋር ተኳሃኝ ከሆኑ ቁሳቁሶች የተሰራ፣ እንደ ሲንተሪድ ብረት ወይም PTFE።

6. የውስጥ ጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማበስርጭት ስርዓቱ ውስጥ ለሚንቀሳቀሱ ጋዞች የመስመር ውስጥ ማጣሪያን ለማቅረብ.

* አጠቃቀምበሲስተሙ ውስጥ ቀጣይነት ያለው ማጣሪያ በማቅረብ በቁልፍ ነጥቦች ላይ በጋዝ መስመሮች ውስጥ ተጭኗል።

* ቁሶችከጋዞች ጋር የኬሚካላዊ ተኳሃኝነትን ለማረጋገጥ የተቀናጀ አይዝጌ ብረት ወይም ኒኬል።

7. የወለል ተራራ የጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማ: ቅንጣቶችን እና ሞለኪውላዊ ብክለትን ለማስወገድ በቀጥታ በጋዝ ፓነል ክፍሎች ላይ ለመጫን.

* አጠቃቀምበጠባብ ቦታዎች ውስጥ የተለመዱ፣ እነዚህ ማጣሪያዎች በወሳኝ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ውጤታማ የአጠቃቀም ነጥብ ማጣሪያን ያቀርባሉ።

* ቁሶችከፍተኛ-ንፅህና አይዝጌ ብረት ለጥንካሬ እና ከሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጋዞች ጋር ተኳሃኝነት።

8. ንዑስ-ማይክሮን ማጣሪያዎች

* ዓላማ: አሁንም በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ላይ ከፍተኛ ጉድለቶችን ሊያስከትሉ የሚችሉ እንደ ንዑስ-ማይክሮን መጠን ያላቸው በጣም ትናንሽ ቅንጣቶችን ለማጣራት።

* አጠቃቀምእንደ ፎቶሊቶግራፊ ያሉ እጅግ በጣም ንጹህ የጋዝ አቅርቦትን ለመጠበቅ ከፍተኛውን የማጣሪያ ደረጃ በሚጠይቁ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።

* ቁሶች: ከፍተኛ መጠን ያለው የሲንጥ ብረት ወይም የሴራሚክ እቃዎች አነስተኛውን ጥቃቅን እንኳን ሳይቀር በትክክል ማጥመድ ይችላሉ.

9. የነቃ የካርቦን ማጣሪያዎች

* ዓላማ: ኦርጋኒክ ብክለትን እና ተለዋዋጭ ጋዞችን ለማስወገድ.

* አጠቃቀምየዋፈር ብክለትን ወይም የምላሽ መዛባትን ለመከላከል የጋዝ ቆሻሻዎች መወገድ በሚፈልጉባቸው መተግበሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።

* ቁሶችኦርጋኒክ ሞለኪውሎችን ለማጣመር የተነደፉ የነቃ የካርቦን ቁሶች።

10.የተጣራ የብረት ጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማመዋቅራዊ ጥንካሬን እና ለከፍተኛ ግፊት መቋቋም በሚሰጥበት ጊዜ ብናኞችን እና ቆሻሻዎችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ለማስወገድ።

* አጠቃቀምጠንካራ ማጣራት በሚያስፈልግበት ሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ በበርካታ ደረጃዎች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል።

* ቁሶችከባድ አካባቢዎችን እና ኬሚካሎችን ለመቋቋም በተለምዶ ከማይዝግ ብረት የተሰራ ወይም ሌላ የብረት ውህዶች።

11.የሃይድሮፎቢክ ጋዝ ማጣሪያዎች

* ዓላማ: እርጥበት ወይም የውሃ ትነት ወደ ጋዝ ዥረት ውስጥ እንዳይገባ ለመከላከል, ይህም የእርጥበት መጠንን እንኳን ለመከታተል በሚረዱ አንዳንድ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ነው.

* አጠቃቀም: ብዙ ጊዜ እንደ ዋፈር ማድረቂያ ወይም የፕላዝማ ኢቲንግ ባሉ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።

* ቁሶችጋዞች ከእርጥበት ብክለት የፀዱ መሆናቸውን ለማረጋገጥ እንደ PTFE ያሉ ሃይድሮፎቢክ ሽፋኖች።

እነዚህ የተለያዩ የጋዝ ማጣሪያ ዓይነቶች በተወሰኑ ባህሪያት, የቁሳቁስ ተኳሃኝነት እና ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ልዩ ሁኔታዎች ተስማሚነት ላይ በመመርኮዝ በጥንቃቄ የተመረጡ ናቸው. ትክክለኛው የማጣሪያዎች ጥምረት ከፍተኛውን የጋዝ ንፅህና ለመጠበቅ, የሂደቱን መረጋጋት ለማረጋገጥ እና በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ ጉድለቶችን ለመከላከል አስፈላጊ ነው.

ስለ ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች አንዳንድ የሚጠየቁ ጥያቄዎች

የሚጠየቁ ጥያቄዎች 1፡

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ምንድን ናቸው እና ለምን አስፈላጊ ናቸው?

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረት ሂደት ውስጥ ወሳኝ አካላት ናቸው.

ከሂደቱ ጋዞች ውስጥ ቆሻሻዎችን እና ብክለትን ለማስወገድ የተነደፉ ናቸው, ለምሳሌኦክስጅን,

ናይትሮጅን, ሃይድሮጂን እና የተለያዩ የኬሚካል ጋዞች.

እነዚህ ቆሻሻዎች የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ጥራት፣ ምርት እና አስተማማኝነት በእጅጉ ሊጎዱ ይችላሉ።

የጋዝ ዥረቶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ በማጣራት ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች የሚከተሉትን ለማድረግ ይረዳሉ-

1. ከፍተኛ ንጽሕናን መጠበቅ;

በማምረት ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት ጋዞች የመሳሪያውን አፈፃፀም ሊያሳጡ ከሚችሉ ከብክሎች ነፃ መሆናቸውን ያረጋግጡ.

2.የመሳሪያዎችን ጉዳት መከላከል;

ሚስጥራዊነት ያለው ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ከቅንጣት እና ኬሚካላዊ ብክለት ይከላከሉ ይህም ውድ ጊዜን እና ጥገናን ሊያስከትል ይችላል.

3. የምርት ምርትን ማሻሻል፡-

በጋዝ ወለድ ቆሻሻዎች ምክንያት የሚመጡ ጉድለቶችን እና ውድቀቶችን ይቀንሱ, ይህም ከፍተኛ የምርት ውጤት ያስገኛል.

4.የመሳሪያውን አስተማማኝነት ያሳድጉ፡

ከብክለት ጋር በተያያዙ ጉዳዮች ምክንያት የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን የረጅም ጊዜ መበስበስን ይቀንሱ።

የሚጠየቁ ጥያቄዎች 2፡

የተለመዱ የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ ዓይነቶች ምንድ ናቸው?

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ብዙ አይነት የጋዝ ማጣሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ, እያንዳንዳቸው ለማስወገድ የተነደፉ ናቸው

የተወሰኑ የብክለት ዓይነቶች.

በጣም የተለመዱት ዓይነቶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. ከፊል ማጣሪያዎች;

እነዚህ ማጣሪያዎች እንደ አቧራ፣ ፋይበር እና የብረት ቅንጣቶች ያሉ ጠንካራ ቅንጣቶችን ከጋዝ ጅረቶች ያስወግዳሉ።

በተለምዶ እንደ ሲንተሪድ ብረት፣ ሴራሚክ፣ ወይም የሜምፕል ማጣሪያዎች ካሉ ቁሶች የተሠሩ ናቸው።

2. የኬሚካል ማጣሪያዎች;

እነዚህ ማጣሪያዎች እንደ የውሃ ትነት፣ ሃይድሮካርቦኖች እና የሚበላሹ ጋዞች ያሉ የኬሚካል ቆሻሻዎችን ያስወግዳሉ።

ብዙውን ጊዜ እንደ ገቢር ካርቦን ያሉ ቁሳቁሶችን በመጠቀም በማስተዋወቅ ወይም በመምጠጥ መርሆዎች ላይ የተመሰረቱ ናቸው ፣

ሞለኪውላዊ ወንፊት, ወይም የኬሚካል sorbents.

3. ጥምር ማጣሪያዎች:

እነዚህ ማጣሪያዎች ሁለቱንም ዓይነቶች ለማስወገድ የቅናሽ እና ኬሚካላዊ ማጣሪያዎችን አቅም ያጣምሩታል።

ብክለት. ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ ንፅህና አስፈላጊ በሆነባቸው ወሳኝ መተግበሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ.

የሚጠየቁ ጥያቄዎች 3፡

ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች እንዴት ተመርጠው ተዘጋጅተዋል?

የሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች ምርጫ እና ዲዛይን በርካታ ምክንያቶችን ያጠቃልላል

* የጋዝ ንፅህና መስፈርቶች

ለተለየ የጋዝ ፍሰት የሚፈለገው የንጽህና ደረጃ የማጣሪያውን የማጣሪያ ብቃት እና አቅም ይወስናል.

* የፍሰት መጠን እና ግፊት;

የሚጣራው የጋዝ መጠን እና የአሠራር ግፊቱ በማጣሪያው መጠን፣ ቁሳቁስ እና ውቅር ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።

* የብክለት ዓይነት እና ትኩረት;

በጋዝ ዥረት ውስጥ የሚገኙት ልዩ የብክለት ዓይነቶች የማጣሪያ ሚዲያ ምርጫን እና የክብደቱን መጠን ይወስናሉ.

* የአየር ሙቀት እና እርጥበት;

የአሠራር ሁኔታዎች የማጣሪያውን አፈጻጸም እና የህይወት ዘመን ላይ ተጽእኖ ሊያሳድሩ ይችላሉ።

* ወጪ እና ጥገና;

የማጣሪያው የመጀመሪያ ዋጋ እና ቀጣይነት ያለው የጥገና መስፈርቶች ግምት ውስጥ መግባት አለባቸው.

እነዚህን ነገሮች በጥንቃቄ በማጤን መሐንዲሶች ልዩውን የሚያሟሉ የጋዝ ማጣሪያዎችን መምረጥ እና ዲዛይን ማድረግ ይችላሉ

ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደት ፍላጎቶች.

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የጋዝ ማጣሪያዎች ምን ያህል ጊዜ መተካት አለባቸው?

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የጋዝ ማጣሪያዎች የመተካት ድግግሞሽ በበርካታ ሁኔታዎች ላይ የተመሰረተ ነው, ይህም ዓይነትን ጨምሮ

ሂደት, የብክለት ደረጃ እና ጥቅም ላይ የሚውለው የተወሰነ የማጣሪያ አይነት. በተለምዶ የጋዝ ማጣሪያዎች በመደበኛነት ይተካሉ

ማንኛውንም የብክለት አደጋ ለመከላከል የጥገና መርሃ ግብር ፣ብዙ ጊዜ በየ 6 እስከ 12 ወሩ, በአጠቃቀም ሁኔታ ላይ በመመስረት

እና ከማጣሪያው አምራች ምክሮች.

ነገር ግን, የመተኪያ መርሃ ግብሮች በአሠራሩ አካባቢ ላይ ተመስርተው በስፋት ሊለያዩ ይችላሉ. ለምሳሌ፡-

* ከፍተኛ የብክለት ሂደቶች:

ማጣሪያዎች ለከፍተኛ ደረጃ ከተጋለጡ በተደጋጋሚ መተካት ሊያስፈልግ ይችላል

ጥቃቅን ወይም ሞለኪውላዊ ብክለት.

* ወሳኝ መተግበሪያዎች:

እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህናን በሚጠይቁ ሂደቶች ውስጥ (ለምሳሌ ፎቶሊቶግራፊ) ማጣሪያዎች ብዙ ጊዜ ይተካሉ

በቅድሚያ የጋዝ ጥራት እንዳይጣስ ለማረጋገጥ.

በማጣሪያው ውስጥ ያለውን ልዩነት መከታተል ማጣሪያ መቼ መተካት እንዳለበት ለመወሰን የተለመደ ዘዴ ነው.

ብክለቶች ሲከማቹ, በማጣሪያው ላይ ያለው የግፊት ጠብታ ይጨምራል, ይህም የውጤታማነት መቀነስን ያሳያል.

በጋዝ ንፅህና ላይ የሚደርሰው ማንኛውም ጥሰት ከፍተኛ ጉድለቶችን ሊያስከትል ስለሚችል ውጤታማነታቸው ከመቀነሱ በፊት ማጣሪያዎችን መተካት በጣም አስፈላጊ ነው.

ምርቱን ይቀንሱ እና ወደ መሳሪያ ጉዳት እንኳን ይመራሉ.

ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የጋዝ ማጣሪያዎች ከየትኞቹ ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው?

በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የጋዝ ማጣሪያዎች ከፍተኛውን የንጽሕና ደረጃዎችን ሊጠብቁ ከሚችሉ ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው

እና በማምረት ውስጥ የሚገኙትን አስቸጋሪ አካባቢዎችን ይቋቋማሉ. የተለመዱ ቁሳቁሶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

አይዝጌ ብረት (316 ሊ)በኬሚካላዊ ጥንካሬ, በሜካኒካዊ ጥንካሬ እና በስፋት ጥቅም ላይ የዋለው ቁሳቁስ

የመጥመቂያ ቴክኖሎጂን በመጠቀም በትክክለኛ ቀዳዳ መጠኖች የመፍጠር ችሎታ። ሁለቱንም ምላሽ ሰጪዎች ለማጣራት ተስማሚ ነው

እና የማይነቃቁ ጋዞች.

PTFE (ፖሊቲትራፍሎሮኢታይሊን)PTFE በጣም ምላሽ ሰጪ ወይም የሚበላሽ ለማጣራት የሚያገለግል በኬሚካላዊ የማይነቃነቅ ቁሳቁስ ነው።

ጋዞች. በጣም ጥሩ የኬሚካል ተኳሃኝነት እና የሃይድሮፎቢክ ባህሪያት ስላለው ለእርጥበት-ስሜታዊነት ተስማሚ ያደርገዋል

ሂደቶች.

* ኒኬል እና ሃስቴሎይ:

እነዚህ ቁሳቁሶች ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች ወይም ለኃይለኛ ኬሚካሎች ሂደቶች ጥቅም ላይ ይውላሉ

አይዝጌ ብረት ሊቀንስ በሚችልበት ቦታ.

* ሴራሚክ:

የሴራሚክ ማጣሪያዎች ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም በሚያስፈልግባቸው መተግበሪያዎች ወይም ለንዑስ ማይክሮን ያገለግላሉ

ቅንጣቶችን ማጣራት.

የቁሳቁስ ምርጫ የሚወሰነው በጋዝ ዓይነት, ምላሽ ሰጪ ዝርያዎች መኖር, የሙቀት መጠኑ እና

ሌሎች የሂደት መለኪያዎች. ቁሳቁሶቹ ምንም አይነት ቆሻሻዎች እንዳይገቡ ለማድረግ ምላሽ የማይሰጡ መሆን አለባቸው

ወይም በሂደቱ ውስጥ ያሉ ቅንጣቶች ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የሚያስፈልጉትን የጋዝ ንፅህና ደረጃዎች ጠብቆ ማቆየት።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የአጠቃቀም ነጥብ (POU) ማጣሪያዎች ሚና ምንድን ነው?

የአጠቃቀም ነጥብ (POU) ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጣም አስፈላጊ ናቸው, ምክንያቱም ጋዞች ከመውጣታቸው በፊት ወዲያውኑ መጸዳታቸውን ያረጋግጣሉ.

የሂደቱን መሳሪያዎች ማስገባት. እነዚህ ማጣሪያዎች ወደ ጋዝ ዥረቱ ውስጥ ሊገቡ ከሚችሉ ብከላዎች የመጨረሻ መከላከያ ይሰጣሉ

በማከማቻ, በማጓጓዝ ወይም በማከፋፈያ ጊዜ, በዚህም የሂደቱን መረጋጋት እና የምርት ጥራትን ያሻሽላል.

የPOU ማጣሪያዎች ቁልፍ ጥቅሞች፡-

* መበከል ወደ ቫፈር እንዳይደርስ ለመከላከል በጣም አስፈላጊ ከሆኑ መሳሪያዎች (ለምሳሌ ማሳከክ ወይም ማስቀመጫ ክፍሎች) አጠገብ ተቀምጧል።

* በጋዝ አያያዝ ስርዓት ወይም በአካባቢ መጋለጥ ሊመጡ የሚችሉትን ሁለቱንም ጥቃቅን እና ሞለኪውላዊ ቆሻሻዎችን ያስወግዱ።

* ከፍተኛውን የጋዝ ጥራት ለሂደቱ መሳሪያ መስጠቱን ያረጋግጡ ፣የመከላከያ መሳሪያዎችን እና የተመረቱ መሳሪያዎችን ጥራት ያሳድጉ።

* የሂደቱን ልዩነት ይቀንሱ፣ ምርትን ይጨምሩ እና የጉድለት ደረጃዎችን ይቀንሱ።

* ጥቃቅን ቆሻሻዎች እንኳን ምርታማነትን እና የምርት አስተማማኝነትን በከፍተኛ ሁኔታ ሊጎዱ በሚችሉ በላቁ ሴሚኮንዳክተር አካባቢዎች ውስጥ አስፈላጊ ነው።

የጋዝ ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ የመሳሪያዎች ጊዜን እንዴት ይከለክላሉ?

የጋዝ ማጣሪያዎች የሂደት ጋዞች ያለማቋረጥ ነፃ መሆናቸውን በማረጋገጥ በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ የመሳሪያዎች መዘግየትን ይከላከላል

በማምረቻ መሳሪያዎች ላይ ጉዳት ሊያደርሱ የሚችሉ ብክለቶች. ሴሚኮንዳክተር ማምረት ከፍተኛ አጠቃቀምን ያካትታል

ሚስጥራዊነት ያላቸው መሳሪያዎች፣ የማስቀመጫ ክፍሎችን፣ የፕላዝማ ኢቲንግ ማሽኖችን እና የፎቶሊተግራፊ ስርዓቶችን ጨምሮ።

እንደ አቧራ፣ እርጥበት ወይም ምላሽ ሰጪ ቆሻሻዎች ያሉ ብክለቶች ወደ እነዚህ ማሽኖች ከገቡ የተለያዩ ችግሮችን ሊያስከትሉ ይችላሉ።

ቫልቮች እና አፍንጫዎች ከመዝጋታቸው ጀምሮ እስከ የዋፈር ንጣፎችን ወይም ሬአክተርን የውስጥ ክፍሎችን መጉዳት።

ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የጋዝ ማጣሪያዎችን በመጠቀም አምራቾች የእነዚህን ብከላዎች ማስተዋወቅን ይከላከላሉ, ይህም የመከሰቱን እድል ይቀንሳል

ያልታቀደ የጥገና እና የመሳሪያ ብልሽቶች. ይህ የተረጋጋ የምርት መርሃ ግብሮችን ለመጠበቅ ይረዳል, ይቀንሳል

ውድ የሆነ የእረፍት ጊዜ, እና ከጥገና ወይም ምትክ ጋር የተያያዙ ጉልህ ወጪዎችን በማስወገድ.

በተጨማሪም በጥሩ ሁኔታ የተያዙ ማጣሪያዎች እንደ የፍሰት መቆጣጠሪያዎች፣ ቫልቮች እና ሬአክተሮች ያሉ ቁልፍ አካላትን ዕድሜ ለማራዘም ይረዳሉ።

በዚህም የማምረቻ ሂደቱን አጠቃላይ ውጤታማነት እና ትርፋማነትን ማሳደግ።

ስለዚህ ስለ ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያዎች አንዳንድ ዝርዝሮችን ካረጋገጡ በኋላ፣ አሁንም አንዳንድ ተጨማሪ ጥያቄዎች ካሉዎት።

ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደትዎን ከፍተኛ ጥራት ባለው የጋዝ ማጣሪያ መፍትሄዎች ለማመቻቸት ዝግጁ ነዎት?

ፍላጎትዎን ለማሟላት ለኤክስፐርት መመሪያ እና ብጁ መፍትሄዎች ዛሬ HENGKOን ያግኙ።

ስለ ሴሚኮንዳክተር ጋዝ ማጣሪያ አንዳንድ ዝርዝሮችን ከተመለከቱ በኋላ ተጨማሪ ጥያቄዎች ካሉዎት?

ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደትዎን ከፍተኛ ጥራት ባለው የጋዝ ማጣሪያ መፍትሄዎች ለማመቻቸት ዝግጁ ነዎት?

ፍላጎትዎን ለማሟላት ለኤክስፐርት መመሪያ እና ብጁ መፍትሄዎች ዛሬ HENGKOን ያግኙ።

በኢሜል ይላኩልን።ka@hengko.comለበለጠ መረጃ።

የምርት ቅልጥፍናዎን እና የምርት ጥራትዎን እንዲያሳድጉ ቡድናችን እዚህ አለ።