ለሴሚኮንዳክተር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የ IGS Surface Mount C ማህተም ማጣሪያዎች
መግለጫ
የHENGKO የሱፍ ማውንት ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ኦሪጂናል ዕቃ አምራች መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የተቀናጁ የጋዝ ስርዓቶችን ተፈላጊ መስፈርቶች ለማሟላት የተነደፉ ናቸው። በኢንዱስትሪው ውስጥ ግንባር ቀደም የሆነ ማጣሪያ በ0.003 µm በማቅረብ፣ እነዚህ ማጣሪያዎች በ120 ስሊፕኤም ≥99.999999% (9-LRV) የሆነ የቅንጣት መጥለፍ ውጤታማነት እና አስተማማኝነት ያረጋግጣሉ።
ለማጣሪያው አካል እና ለመኖሪያነት ከተሰራ ጠንካራ 316L አይዝጌ ብረት ዱቄት ሲንተሪ የተሰሩት እነዚህ ማጣሪያዎች ከSEMI F86-0304 መስፈርቶች ጋር የሚጣጣሙ ሲሆኑ፣ ለ1.125” የጋዝ ማከፋፈያ ስርዓቶች የተነደፉ ባለ ሁለት ወደብ ክፍሎችን በሲ-ማህተም ውቅር ያቀርባሉ። በ100°ሴ ከፍተኛውን የመግቢያ ግፊት 3.4 MPa እና በ100°ሴ ከፍተኛው የአሠራር ግፊት ልዩነት 0.69 MPa ይደግፋሉ።
እነዚህ ልዩ ማጣሪያዎች ከሲ-አይነት እና ከደብሊው-አይነት ማኅተም ዝርዝሮች ጋር የሚጣጣሙ ሲሆኑ፣ የቅንጣት መለቀቅን በመጠቀም የታችኛውን ንፅህና ያስገኛሉ
የራ ወለል አጨራረስ ያለውከውጪው እና ከራው < 1.6 µmበውስጠኛው ክፍል ላይ ከ0.13 µm በታች ሲሆኑ፣ እስከ 460°ሴ የሚደርስ ከፍተኛ የሙቀት መጠንን እንዲቋቋሙ ተደርገው የተነደፉ ናቸው። እነዚህ ማጣሪያዎች ለቀላል ውህደት እና ለሞዱላር ዲዛይን ማሻሻያዎች የተነደፉ ሲሆን፣ መጫንን እና ጥገናን ቀላል ያደርጋሉ፣ ይህም በሴሚኮንዳክተር ጋዝ አቅርቦት እና የቁጥጥር አፕሊኬሽኖች ውስጥ የስርዓት አፈጻጸምን ለማሻሻል ይረዳል።
የምርት ባህሪ
▶ በአጠቃላይ 316 ሊትር የማይዝግ ብረት ግንባታ
▶ አነስተኛ ዲዛይን፣ የታመቀ መዋቅር፣ ቦታን የሚቆጥብ
▶ እጅግ በጣም ጥሩ የጋዝ ምትክ እና የመምጠጥ ባህሪያት
▶ ከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ ግፊት እና ዝገት መቋቋም የሚችል
▶ ኤሌክትሮ-ፖሊሽድ 316L አይዝጌ ብረት መያዣ
▶ ቀላል እና ቀልጣፋ ጭነት እና ጥገና
▶ ሜካኒካል ማኅተም፣ በመዋቅራዊ መልኩ ወደ መካከለኛው የማይጣበቅ
![]()
የውሂብ ሉህ
| የቴክኒክ መለኪያዎች | እሴቶች |
|---|---|
| የማጣሪያ አባል ቁሳቁስ | 316 ሊትር አይዝጌ ብረት የተበተነ ዱቄት |
| የቤቶች ቁሳቁስ | 316L አይዝጌ ብረት |
| ከፍተኛው የመግቢያ ግፊት | 3.4 MPa @ 100°ሴ |
| ከፍተኛው የአሠራር ልዩነት | 0.69 MPa @ 100°ሴ |
| የሂሊየም ማረጋገጫ የፍሳሽ መጠን | 1x10⁻¹¹¹ ሲሲ/ደቂቃ |
| የሂሊየም የሙከራ መፍሰስ መጠን | 1x10⁻⁹ ሲሲ/ደቂቃ |
| የገጽታ ህክምና | ውጫዊ ወለል ራ< 1.6 μm |
| ውስጣዊ ገጽ ራ< 0.13 μm | |
| ከፍተኛው የአሠራር ሙቀት | 460°ሴ |
| የፓርቲክል መጥለፍ ውጤታማነት | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (የማጣቀሻ MPPS፣ ሁሉም ቅንጣቶች) |
| የታችኛው ንፅህና | የቅንጣት ልቀት፡< 0.03 ቅንጣቶች/ሊትር (< 1 ቅንጣት/ጫማ³) |
| ተለዋዋጭ፡እርጥበት < 10 ppb | |
| የፓርቲክል መጥለፍ መጠን | ≥0.003 μm |
| የፍሰት ክልል | 0 ~ 120 ስሊፕኤም |
መጠን

ሊታዘዙት የሚችሉት የክፍል ቁጥር እና የመጠን ዝርዝሮች እነሆ፡
| የምርት ሞዴል | የፍሰት መጠን | ቁመት ኤች (ሚሜ) | የማጣሪያ ትክክለኛነት | የጽዳት ደረጃ |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 ስሊፕኤም | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 ስሊፕኤም | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 ስሊፕኤም | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 ስሊፕኤም | 167.9 | 0.003 μm | C |
የተለመዱ አፕሊኬሽኖች
ከ W-seal እና C-seal ጋር ለመጠቀም፣ 1.125” እና 1.5” ወለል ላይ የሚገጠሙ ሞዱላር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች።
![]()
መልእክትዎን ለእኛ ይላኩልን፦



