ለሴሚኮንዳክተር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የ IGS Surface Mount C ማህተም ማጣሪያዎች

ለሴሚኮንዳክተር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የ IGS Surface Mount C ማህተም ማጣሪያዎች

አጭር መግለጫ፡


  • የምርት ስም፡ሄንግኮ
  • የማጣሪያ ስም፡የ IGS Surface Mount C-Seal ማጣሪያ
  • ቁሳቁስ፡ኤስኤስ 316ሊ
  • የፍሰት መጠን፡10 ~ 120 SLPM
  • ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት፡460°ሴ
  • የቅንጣት ማስወገጃ መጠን፡> 0.003 μm
  • የምርት ዝርዝር

    የምርት መለያዎች

    መግለጫ

    የHENGKO የሱፍ ማውንት ማጣሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ኦሪጂናል ዕቃ አምራች መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የተቀናጁ የጋዝ ስርዓቶችን ተፈላጊ መስፈርቶች ለማሟላት የተነደፉ ናቸው። በኢንዱስትሪው ውስጥ ግንባር ቀደም የሆነ ማጣሪያ በ0.003 µm በማቅረብ፣ እነዚህ ማጣሪያዎች በ120 ስሊፕኤም ≥99.999999% (9-LRV) የሆነ የቅንጣት መጥለፍ ውጤታማነት እና አስተማማኝነት ያረጋግጣሉ።

    ለማጣሪያው አካል እና ለመኖሪያነት ከተሰራ ጠንካራ 316L አይዝጌ ብረት ዱቄት ሲንተሪ የተሰሩት እነዚህ ማጣሪያዎች ከSEMI F86-0304 መስፈርቶች ጋር የሚጣጣሙ ሲሆኑ፣ ለ1.125” የጋዝ ማከፋፈያ ስርዓቶች የተነደፉ ባለ ሁለት ወደብ ክፍሎችን በሲ-ማህተም ውቅር ያቀርባሉ። በ100°ሴ ከፍተኛውን የመግቢያ ግፊት 3.4 MPa እና በ100°ሴ ከፍተኛው የአሠራር ግፊት ልዩነት 0.69 MPa ይደግፋሉ።

    እነዚህ ልዩ ማጣሪያዎች ከሲ-አይነት እና ከደብሊው-አይነት ማኅተም ዝርዝሮች ጋር የሚጣጣሙ ሲሆኑ፣ የቅንጣት መለቀቅን በመጠቀም የታችኛውን ንፅህና ያስገኛሉ

    የራ ወለል አጨራረስ ያለውከውጪው እና ከራው < 1.6 µmበውስጠኛው ክፍል ላይ ከ0.13 µm በታች ሲሆኑ፣ እስከ 460°ሴ የሚደርስ ከፍተኛ የሙቀት መጠንን እንዲቋቋሙ ተደርገው የተነደፉ ናቸው። እነዚህ ማጣሪያዎች ለቀላል ውህደት እና ለሞዱላር ዲዛይን ማሻሻያዎች የተነደፉ ሲሆን፣ መጫንን እና ጥገናን ቀላል ያደርጋሉ፣ ይህም በሴሚኮንዳክተር ጋዝ አቅርቦት እና የቁጥጥር አፕሊኬሽኖች ውስጥ የስርዓት አፈጻጸምን ለማሻሻል ይረዳል።

     

    የምርት ባህሪ

    ▶ በአጠቃላይ 316 ሊትር የማይዝግ ብረት ግንባታ
    ▶ አነስተኛ ዲዛይን፣ የታመቀ መዋቅር፣ ቦታን የሚቆጥብ
    ▶ እጅግ በጣም ጥሩ የጋዝ ምትክ እና የመምጠጥ ባህሪያት
    ▶ ከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ ግፊት እና ዝገት መቋቋም የሚችል
    ▶ ኤሌክትሮ-ፖሊሽድ 316L አይዝጌ ብረት መያዣ
    ▶ ቀላል እና ቀልጣፋ ጭነት እና ጥገና
    ▶ ሜካኒካል ማኅተም፣ በመዋቅራዊ መልኩ ወደ መካከለኛው የማይጣበቅ

     

    ለሴሚኮንዳክተር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የ IGS Surface Mount C ማህተም ማጣሪያዎች

     

    የውሂብ ሉህ

    የቴክኒክ መለኪያዎች እሴቶች
    የማጣሪያ አባል ቁሳቁስ 316 ሊትር አይዝጌ ብረት የተበተነ ዱቄት
    የቤቶች ቁሳቁስ 316L አይዝጌ ብረት
    ከፍተኛው የመግቢያ ግፊት 3.4 MPa @ 100°ሴ
    ከፍተኛው የአሠራር ልዩነት 0.69 MPa @ 100°ሴ
    የሂሊየም ማረጋገጫ የፍሳሽ መጠን 1x10⁻¹¹¹ ሲሲ/ደቂቃ
    የሂሊየም የሙከራ መፍሰስ መጠን 1x10⁻⁹ ሲሲ/ደቂቃ
    የገጽታ ህክምና ውጫዊ ወለል ራ< 1.6 μm
      ውስጣዊ ገጽ ራ< 0.13 μm
    ከፍተኛው የአሠራር ሙቀት 460°ሴ
    የፓርቲክል መጥለፍ ውጤታማነት ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (የማጣቀሻ MPPS፣ ሁሉም ቅንጣቶች)
    የታችኛው ንፅህና የቅንጣት ልቀት፡< 0.03 ቅንጣቶች/ሊትር (< 1 ቅንጣት/ጫማ³)
      ተለዋዋጭ፡እርጥበት < 10 ppb
    የፓርቲክል መጥለፍ መጠን ≥0.003 μm
    የፍሰት ክልል 0 ~ 120 ስሊፕኤም

     

    መጠን

    የSurface Mount ማጣሪያዎች መጠን

    ሊታዘዙት የሚችሉት የክፍል ቁጥር እና የመጠን ዝርዝሮች እነሆ፡

    የምርት ሞዴል የፍሰት መጠን ቁመት ኤች (ሚሜ) የማጣሪያ ትክክለኛነት የጽዳት ደረጃ
    Z01B-00637 10 ስሊፕኤም 51.6 0.003 μm C
    Z01B-00638 40 ስሊፕኤም 82.9 0.003 μm C
    Z01B-00687 80 ስሊፕኤም 126.2 0.003 μm C
    Z01B-00688 120 ስሊፕኤም 167.9 0.003 μm C

     

    የተለመዱ አፕሊኬሽኖች

    ከ W-seal እና C-seal ጋር ለመጠቀም፣ 1.125” እና 1.5” ወለል ላይ የሚገጠሙ ሞዱላር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች።

     

    የ IGS ማጣሪያዎች ዝቅተኛ መገለጫ ያለው የገጽታ ማፈናጠጫ ሲ ማህተም ማጣሪያ ለሴሚኮንዳክተር የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች

     

    መልእክትዎን ለእኛ ይላኩልን፦

    መልእክትዎን እዚህ ይፃፉ እና ይላኩልን


  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡

  • ተዛማጅ ምርቶች